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効率的なエネルギー利用と温暖化ガスの代替化を推進しています。

NECファブサーブはNECエレクトロニクスと共に、工場やオフィスでのエネルギー使用の合理化(省エネ装置の開発・導入、製造プロセスの改良・簡素化など)によるCO2の排出削減、製造プロセスに投入している温室効果ガス(PFCガス*1)の排出削減(温室効果ガスの代替化、除害技術開発)を進めています。

省エネルギーに関して、NECエレクトロニクスは2010年までに出荷高原単位で1990年の75%以下を目標に、プラントや生産設備の消費エネルギー削減を実施しています。しかし、これらの削減活動だけでは、目標達成は困難な状況になっています。このため、改めて無駄なエネルギーの排除、製造プロセスの抜本的見直しをはじめ、半導体業界活動に積極的に参画し、生産設備業界・付帯設備業界との連携を図り、省エネルギー活動を強力に推進しています。

また、温室効果ガスであるPFC*1等は半導体製造工程で装置クリーニングガスなどに使用しており、大気寿命が長く温暖化係数もCO2の1万倍程度と高いため、その排出量削減が重要な課題となっています。このため、NECエレクトロニクスは2010年までに、PFC*1による温室効果ガス排出量を1995年の90%以下にすることを目指し、使用条件最適化・代替化ガス適用・除害設備設置等の排出削減活動を強化・展開するとともに、排出削減技術開発に積極的に取り組んでいます。

*1.PFC: パーフルオロカーボン(代表的な温室効果ガス)







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